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行業(yè)動(dòng)態(tài)

典型GaN射頻器件的工藝流程

分類：行業(yè)動(dòng)態(tài)
作者：
來源：
發(fā)布時(shí)間：2022-09-26
訪問量：0

【概要描述】典型的GaN射頻器件的加工工藝主要包括如下環(huán)節(jié)：外延生長-器件隔離-歐姆接觸（制作源極、漏極）-氮化物鈍化-柵極制作-場(chǎng)板制作-襯底減薄-襯底通孔等環(huán)節(jié)。

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典型GaN射頻器件的工藝流程

分類：行業(yè)動(dòng)態(tài)
作者：
來源：
發(fā)布時(shí)間：2022-09-26
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詳情

典型的GaN射頻器件的加工工藝主要包括如下環(huán)節(jié)：外延生長-器件隔離-歐姆接觸（制作源極、漏極）-氮化物鈍化-柵極制作-場(chǎng)板制作-襯底減薄-襯底通孔等環(huán)節(jié)。

外延生長

采用金屬氧化物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）或分子束外延（MBE）方式在SiC或Si襯底上外延GaN材料。

器件隔離

采用離子注入或者制作臺(tái)階（去除掉溝道層）的方式來實(shí)現(xiàn)器件隔離。射頻器件之間的隔離是制作射頻電路的基本要求。

歐姆接觸

形成歐姆接觸是指制作源極和漏極的電極。對(duì)GaN材料而言，制造歐姆接觸需要在很高的溫度下完成。

氮化物鈍化

在源極和漏極制作完成后，GaN半導(dǎo)體材料需要經(jīng)過鈍化過程來消除懸掛鍵等界面態(tài)。GaN的鈍化過程通常采用SiN（氮化硅）來實(shí)現(xiàn)。

柵極制作

在SiN鈍化層上開口，然后沉積柵極金屬。至此，基本的場(chǎng)效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)就成型了。

場(chǎng)板制作

柵極制作完成后，繼續(xù)沉積額外的幾層金屬和氮化物，來制作場(chǎng)板、互連和電容，此外，也可以保護(hù)器件免受外部環(huán)境影響。

襯底減薄

襯底厚度減薄至100μm左右，然后對(duì)減薄后的襯底背部進(jìn)行金屬化。

襯底通孔

通孔是指在襯底上表面和下表面之間刻蝕出的短通道，用于降低器件和接地(底部金屬化層)之間的電感。

出處：www.qorvo.com

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