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2022
- 分類:發(fā)展歷史
- 作者:
- 來源:
- 發(fā)布時間:2022-09-26
- 訪問量:0
【概要描述】? 2 inch 規(guī)模量產(chǎn),? 4 inch 小批量供貨,? 7 inch 樣品研發(fā)。
位錯密度:研發(fā)水平103cm?2,量產(chǎn)水平10?cm?2。
2022
【概要描述】? 2 inch 規(guī)模量產(chǎn),? 4 inch 小批量供貨,? 7 inch 樣品研發(fā)。
位錯密度:研發(fā)水平103cm?2,量產(chǎn)水平10?cm?2。
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- 發(fā)布時間:2022-09-26
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作為課題承擔(dān)單位獲得國家重點研究計劃“第三代半導(dǎo)體的襯底制備及同質(zhì)外延”項目支持
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